特許

J-GLOBAL ID：200903048221543244

単一の基板上で異なった中心周波数を有するバルク音響波フィルタ、およびそれを提供する方法

発明者： ユーハ エッラ ,  ヘレナ ポーヨネン
出願人/特許権者： ノキア コーポレーション
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-000134
公開番号（公開出願番号）：特開2002-268645
出願日： 2002年01月04日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】 単一の基板上で異なった中心周波数を有するバルク音響波フィルタを作製することにより、作製工程数を少なくする。【解決手段】 本発明のバルク音響フィルタは、基板上に音響絶縁構造を介して厚さの異なる圧電体層を有する複数のバルク音響共振器を形成するので、異なった中心周波数を有するバルク音響フィルタを単一の基板上に作製することができ、単一周波数のバルク音響フィルタに比べて作製工程の追加も少ないという効果を奏する。

請求項（抜粋）：

単一の基板上に、実質的に異なった共振周波数を有する複数のバルク音響波共振器を作製する方法であって、(a)上面を有する基板を設ける工程と、(b)基板の上面に絶縁構造を堆積する工程と、(c)絶縁構造の上に第1の金属層を堆積し、第1の金属層は下部電極として働く工程と、(d)異なった共振周波数のおのおのに対応する厚さを有するように、圧電体材料層を下部電極の上に堆積し、おのおのの異なった厚さが、その厚さに対応する共振周波数を有する共振器が配置されるべき場所に配置される工程を含む方法。

IPC (5件)：

G10K 11/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/54

FI (5件)：

G10K 11/04 ,  H03H 3/02 C ,  H03H 9/54 Z ,  H01L 41/22 Z ,  H01L 41/08 U

Fターム (8件)：

5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108FF01 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108KK07 ,  5J108MM11 ,  5J108MM14

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 薄膜バルク弾性波装置を利用したモノリシック・フィルタ、および通過帯域レスポンスの形状と幅を制御するための最小受動素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-100832   出願人：ノキアモービルフォーンズリミテッド
• 特開平4-063007
  
• 特開平4-063007