特許

J-GLOBAL ID：200903048227881540

ダイヤモンド被覆部材の製造方法

発明者： 磯崎 敏夫
出願人/特許権者： 出光石油化学株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031938
公開番号（公開出願番号）：特開平5-230658
出願日： 1992年02月19日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 基材とダイヤモンド薄膜との密着性に優れたダイヤモンド被覆部材の製造方法を提供することにある。【構成】 本発明のダイヤモンド被覆部材の製造方法は、窒化チタン、炭化チタン及び炭窒化チタンからなる群から選択される少なくとも一種の薄層を超硬合金製部材の表面に被覆してなる基材を、不活性ガス雰囲気中において、1,000〜1,600°Cの温度で熱処理した後に、該熱処理された基材の表面に気相合成法によってダイヤモンド類薄膜を形成することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

金属チタン、窒化チタン、炭化チタン及び炭窒化チタンからなる群から選択される少なくとも一種の薄層を超硬合金製部材の表面に被覆してなる基材を、不活性ガス雰囲気中において、1,000〜1,600°Cの温度で熱処理した後に、該熱処理された基材の表面に気相合成法によってダイヤモンド類薄膜を形成することを特徴とするダイヤモンド被覆部材の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 16/26 ,  B23P 15/28 ,  C23C 16/02 ,  C30B 29/04