特許

J-GLOBAL ID：200903048237645349

楕円偏光測定方法、楕円偏光計及びそのような方法及び装置を使用して層の生成を制御する装置

発明者： ベルナール ドレヴィロン ,  モルタン キルデーモ ,  ランダーヌ バンフェラート
出願人/特許権者： アンストルマン ソシエテ アノニム
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080417
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015140
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【課題】 本発明の課題は、周期的な振動の問題から解放し、測定の精度を向上させた、位相変調楕円偏光法を実施することである。【解決手段】 本発明は、試料の示す物理的変数の楕円偏光測定法及びその装置に関する。測定値Iom、Ism及びIcmが、測定強度I(t) を示す信号(50)から計算される(51、52)。第一段階(55、57)では、最初の理論値Ist/Iot及びIct/Iotが、物理的変数の最初の推定値から作られる。第二段階(58、59)では、物理的変数の次の推定値(59)が決定され、それらから、次の理論値Ist/Iot及びIct/Iotが導かれる(55、57)。第二段階は、理論値と測定値との差を最小化するように、物理的変数のN番目の推定値まで繰り返される物理的変数が、N番目の推定値の間に求められる(54)。基板上の層の生成の制御に適用できる。

請求項（抜粋）：

入射光線が直線偏光され、前記光線は偏光ベクトルによって定められ、偏光した入射光線は、位相ずれδ(t) が、周期パルス変化量ωに従って、時間tに依存して、偏光ベクトルの垂直構成要素の間に起きるように変調され、δ(t) はsin(ωt)の1次に比例し、試料に、変調された偏光の入射光線を照射し、試料によって反射された入射の偏光ベクトルを分析し、光線の光束を、少なくとも1つの光検知器によって測定し、光検知器に接続された電子処理装置によって、光束の測定の計算を行い、検知された光束は、I(t)=Iom+Ismsinδ(t) +Icmcosδ(t)で表される強度I(t)を有し、Iom、Ism及びIcmは、強度I(t)から処理装置で測定され、前記物理的変数に依存する値である、試料の示す物理的変数の楕円偏光測定方法であって、第一段階において、最初に理論値Ist/Iot及びIct/Iotを、物理的変数の最初の推定値から求め、第二段階において、前記理論値を、物理的変数の次の推定値を決定するために使用し、それらから、次の理論値Ist/Iot及びIct/Iotを導き、第二段階が、測定値と理論値との差を最小化するように、物理的変数のN番目の推定値まで繰り返され、物理的変数を、N番目の推定値で得られたIst/Iot及びIct/Iotから求める楕円偏光測定方法。

IPC (3件)：

G01N 21/21 ,  G01J 4/00 ,  G01J 4/04

FI (3件)：

G01N 21/21 Z ,  G01J 4/00 ,  G01J 4/04 Z