特許

J-GLOBAL ID：200903048242362495

タッチ信号プローブ

発明者： 西沖 暢久 ,  石川 修弘
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-214010
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046507
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】検出遅れ時間を短縮するとともにスタイラス間での検出能力のバラツキを改善して測定誤差を解消するタッチ信号プローブを提供すること。【解決手段】スタイラス支持体3にそれぞれ突出形成される複数のスタイラス4と、スタイラス支持体3に配置されスタイラス4を加振する加振手段6Aと、スタイラス支持体3に配置され振動状態を検出する検出手段7Aと、検出手段7Aで検出された検出信号を演算処理する制御手段9とを備える。検出手段7Aは複数のスタイラス4にそれぞれ対応するようにスタイラス支持体3に複数配置する。制御手段9は複数の検出手段7Aによりそれぞれ得られる複数の検出信号を相互に組み合わせることなく独立して用いて接触トリガ信号を発生する。

請求項（抜粋）：

プローブ支持体に設けられたスタイラス支持体と、このスタイラス支持体にそれぞれ放射状に突出形成されるとともに先端に被接触部と接触する接触部を有する複数本のスタイラスとが含んで構成される振動子と、前記スタイラス支持体に配置されるとともに前記振動子の固有振動数と略一致した振動数で前記スタイラスを加振する加振手段と、前記スタイラス支持体に配置されるとともに前記接触部が被測定物と接触する際に接触に伴って変化する振動の状態を検出する検出手段と、この検出手段で検出された検出信号を演算処理して接触トリガ信号を発生する制御手段とを備えたタッチ信号プローブであって、前記検出手段は前記複数本のスタイラスにそれぞれ対応するように前記スタイラス支持体に複数配置され、前記制御手段は前記複数の検出手段によりそれぞれ得られる複数の検出信号を相互に組み合わせることなく独立して用いることにより前記接触部の被接触部への接触に伴う振動状態の変化の検出が前記複数のスタイラスのいずれへも依存することがなく、かつ、前記接触部が被接触部にどの方向から接触しても依存することがないことを特徴とするタッチ信号プローブ。