特許
J-GLOBAL ID：200903048247999602
球体表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-078145
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247953
出願日： 1995年03月09日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 鋼球サイズに応じて光学系を変更することなく、簡易に被検査球体における全表面の性状を高精度に検査することができるようにした。【構成】 第1の焦点Aと第2の焦点Bとを有する楕円10の長軸11を回転して得られる曲面の内面所定領域12が鏡面とされた楕円鏡13と、回転軸18の一端面15に平面鏡16が設けられて長軸11上の所定位置に配設された回転又は揺動可能な回転鏡18とを有しており、レーザダイオード1からの光が平面鏡16、楕円鏡13を経て被検査球体6に入射される。また、被検査球体6の球心が第2の焦点Bと一致するようにされており、被検査球体6には垂直方向から光が入射する。したがって、被検査球体6に入光した光は逆進し、ビームスプリッタ21を介してスリット5を通過した光量が光検出素子3で光電変換され、球体性状判定手段8により被検査球体6の表面性状が検査される。
請求項（抜粋）：
被検査球体の表面を照射する光源と、前記被検査球体の表面から反射した反射光の光量を検出する光量検出手段と、前記光源と前記光量検出手段との間に形成される光路上に配された偏光手段と、前記光量検出手段により検出された検出値に基づいて前記被検査球体の表面性状を判定する表面性状判定手段とを備えた球体表面検査装置において、前記偏光手段が、第1の焦点と第2の焦点とを有する楕円の長軸を回転して得られる曲面の少なくとも一部の内面が鏡面とされた楕円鏡と、回転軸の少なくとも一端面が傾斜状に形成されて該一端面に平面鏡が設けられると共に前記回転軸の軸芯が前記長軸上の所定位置に配設された回転又は揺動可能な回転鏡と、前記光源からの射出光を前記平面鏡に集光させ且つ該平面鏡からの反射光を前記光量検出手段に導く集光手段とを備え、前記被検査球体の球心を前記第2の焦点上に配して前記被検査球体を自転させる球体駆動手段を有し、前記被検査球体の全表面積が前記光源からの射出光により前記偏光手段を介して走査されることを特徴とする球体表面検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84
, G01B 11/30
, G01B 11/30 101
G01N 21/84 Z
, G01B 11/30 Z
, G01B 11/30 101 B
