特許
J-GLOBAL ID：200903048250001019
細長ペレットの抽出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
千田 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-151035
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338556
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】シートからの細長ペレットの剥離・抽出を機械的に行うことにより、高度の技術を不要にして、汎用性を高めることを目的とする。【構成】シート33上面に粘着された細長ペレット34の両端部を、第1段階で第1ワイヤ12により突き上げ、コレット35に吸着させた後、第2段階でコレット35の上昇に追従して上動する第2ワイヤ17により細長ペレット34中間部を突き上げて、細長ペレット34をコレット35に確実に吸着させる構成とすることにより、細長ペレット34を折損することなく、確実に抽出し、省力化と、信頼性及び品質の向上とを図るようにした。
請求項（抜粋）：
シート上に貼着された細長ペレットを抽出する装置であって、前記シート下面接触する受台と、真空発生装置により、前記細長ペレットを吸着するためのバキューム力が作用する吸着部を備え、前記受台の上方に配設されて上下昇降装置により上下昇降動作されるコレットと、該受台の下方に上下に浮動自由に配設され、常時は弾性部材により下降位置に弾性付勢されて保持される浮動部材と、該浮動部材を前記弾性付勢力に抗して上昇させる浮動部材作動装置と、基端部が前記浮動部材に固定され先端部が前記受台のシート接触部の細長ペレット長手方向の少なくとも両端位置に対応する両端位置に形成された孔にそれぞれスライド貫通自由に支持され、前記細長ペレットの少なくとも両端部を第1段階で突き上げる2以上の第1線状部材と、該浮動部材の下方に昇降可能に配設される突上部材と、該突上部材を上下動させる突上部材作動装置と、基端部が前記突上部材に固定され先端部が前記受台のシート装着部の細長ペレット長手方向中間位置に対応する中間位置に該長手方向に沿って直線状に並列形成された孔にそれぞれスライド貫通自由に支持され、前記細長ペレットの長手方向中間部を第2段階で突き上げる複数の第2線状部材と、前記コレットの上昇動作と同期して前記突上部材を上昇動作させる突上部材作動装置と、を含んで構成したことを特徴とする細長ペレットの抽出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/52
, H01L 21/78
