特許

J-GLOBAL ID：200903048252404803

金属板の表面改質方法

発明者： 森川 容任 ,  石岡 宗浩
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-279370
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106947
出願日： 1997年09月29日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：

【要約】【課題】 大がかりな装置を用いることなく、金属板に対して連続的に低温プラズマを利用した表面改質を施すことができる金属板の表面改質方法を提供すること。【解決手段】 チャンバー3内に電子放出源となる固体物質6を設置し、該チャンバー内に不活性ガスあるいは酸素含有ガスを充填するとともに、マイクロ波発生装置5から固体物質6にマイクロ波を照射してその表面から熱電子を放出させ、チャンバー3内のガスと熱電子との反応により、大気圧またはその近傍で低温プラズマを発生させ、その低温プラズマ中に金属板2を通板させて金属板2の表面を改質する。

請求項（抜粋）：

大気圧またはその近傍でマイクロ波により誘起された低温プラズマ中に金属板を通板させて金属板の表面を改質することを特徴とする金属板の表面改質方法。

IPC (5件)：

C23C 22/82 ,  B05D 3/04 ,  C23F 4/00 ,  C23G 5/00 ,  B05D 7/14

FI (5件)：

C23C 22/82 ,  B05D 3/04 C ,  C23F 4/00 D ,  C23G 5/00 ,  B05D 7/14 Z