特許

J-GLOBAL ID：200903048252683419

ウエハ支持部材

発明者： 口町 和一
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-358309
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191534
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】耐食性、耐プラズマ性に優れるとともに、一様なプラズマを発生させることが可能なプラズマ発生機能を備えたウエハ支持部材1を提供する。【解決手段】ウエハWの支持面2aを有するセラミック支持体2と、セラミックベース体3とをインジウム又はインジウム合金からなる接合層4を介して接合してウエハ支持部材1を構成し、上記接合層4に高周波電力を印加してプラズマ発生用電極としての機能を持たせる。

請求項（抜粋）：

ウエハの支持面を有するセラミック支持体と、セラミックベース体とをインジウム又はインジウム合金からなる接合層を介して接合し、該接合層をプラズマ発生用電極としたことを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (9件)：

H01L 21/205 ,  C04B 37/02 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/68 ,  H05H 1/46

FI (9件)：

H01L 21/205 ,  C04B 37/02 B ,  C23C 14/50 Z ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/31 C ,  H01L 21/68 N ,  H05H 1/46 M ,  H01L 21/302 B