特許
J-GLOBAL ID:200903048261721803
ドレッサ及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
内山 充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-188195
公開番号(公開出願番号):特開平10-015819
出願日: 1996年06月28日
公開日(公表日): 1998年01月20日
要約:
【要約】【課題】研磨パッドのドレッシングを短時間で行うことができ、超砥粒の脱落を生じるおそれがなく、研磨パッドに優れた平坦性を与えることができる、精度の高いドレッサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】ドレッサの回転軸と直交する作用面に超砥粒が電着により固着されたドレッサにおいて、超砥粒の突出量が平均粒径の5〜30%であることを特徴とするドレッサ、及び、台金に超砥粒一層分をメッキにより仮固定し、仮固定した超砥粒の浮き石を砥石により除去し、さらに超砥粒の最突出部と同じ高さまで又は超砥粒を完全に埋め込むまでメッキを行ったのち、石出し加工を行うことにより超砥粒の最突出部を露出させることを特徴とする該ドレッサの製造方法。
請求項(抜粋):
ドレッサの回転軸と直交する作用面に超砥粒が電着により固着されたドレッサにおいて、超砥粒の突出量が平均粒径の5〜30%であることを特徴とするドレッサ。
IPC (3件):
B24B 53/12
, B24B 37/00
, B24B 53/00
FI (3件):
B24B 53/12 A
, B24B 37/00 A
, B24B 53/00 J
引用特許:
前のページに戻る