特許

J-GLOBAL ID：200903048265917451

石英ガラスの製造方法

発明者： 折居 晃一 ,  原 幸伸 ,  長田 裕也 ,  工藤 正行 ,  加茂 賢治 ,  岡村 敏彦 ,  津久間 孝次 ,  須藤 一 ,  菊地 義一
出願人/特許権者： 日東化学工業株式会社 ,  東ソー株式会社 ,  日本石英硝子株式会社
代理人 (1件)： 本多 小平 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-197453
公開番号（公開出願番号）：特開平9-048623
出願日： 1995年08月02日
公開日（公表日）： 1997年02月18日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、プレス成形に適した非晶質シリカ粉末を使用し、半導体製造用治具及び液晶基板等に有効な高純度透明石英ガラスを製造する方法を提供する。【解決手段】 シリカ粉末のプレス成形体を焼成して石英ガラスを製造する方法において、シリカ粉末として、平均粒径が0.5〜10μmの範囲にあり、Na、K、Fe、Ti、Alの各不純物が1ppm以下である非晶質シリカ粉末に、ガラス転移点が-50°C〜0°C以下である水溶性アクリル系樹脂を0.1〜10重量%添加して造粒した粉末を用いる。

請求項（抜粋）：

シリカ粉末のプレス成形体を焼成して石英ガラスを製造する方法において、平均粒径が0.5〜10μmの範囲にあり、かつNa、K、Fe、Ti、Alの各不純物が1ppm以下である非晶質シリカ粉末に、ガラス転移点が-50°C〜0°Cである水溶性アクリル系樹脂を0.1〜10重量%添加し、これを造粒した造粒粉末を用いて上記プレス成形体を形成することを特徴とする石英ガラスの製造方法。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C03B 19/06 ,  C03C 3/06

FI (3件)：

C03B 20/00 ,  C03B 19/06 A ,  C03C 3/06