特許

J-GLOBAL ID：200903048266689436

磁気記録媒体およびCr-Ru系ターゲット

発明者： 上野 友典
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129800
公開番号（公開出願番号）：特開平11-328648
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月30日
要約：

【要約】【課題】 Co系磁性層の磁気特性を改善し、高密度記録化に適した磁気記録媒体および高密度記録化に適した磁気記録媒体を作製する際のスパッタリングに適した高強度ターゲットを提供する。【解決手段】 本発明は非磁性基板とCo系磁性層との間に少なくとも1層以上の下地層が被着されている磁気記録媒体において、Co系磁性層の下地層はRu5〜18at%、残部実質的にCrである磁気記録媒体である。また、上述したCr-Ru系の下地層はRu5〜18at%、残部実質的にCrの組成を有する焼結体のターゲットを用い、スパッタリングによって得ることができる。

請求項（抜粋）：

非磁性基板とCo系磁性層との間に少なくとも1層以上の下地層が被着されている磁気記録媒体において、Co系磁性層の下地層はRu5〜18at%、残部実質的にCrからなることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (3件)：

G11B 5/66 ,  C22C 27/06 ,  C23C 14/34

FI (3件)：

G11B 5/66 ,  C22C 27/06 ,  C23C 14/34 A