形状検知装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-350875
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180133
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】被検物表面に付着しているラベルあるいは異物等を高速非接触で検知する。【課題】被検物を測定するための照射領域を照明する照明手段と、該照明手段により照明される照射領域に対応する前記被検物上の測定点からの反射光を結像入力するための結像手段と、該結像手段による結像位置に複数配置され、検出データを取得する位置検出手段とを具備することを特徴とする形状検知装置。【解決手段】近接した複数の測定点で3角法に基づく高さ検知を、結像光学系や検知光学系における機械的、信号的干渉を殆ど発生させることなく実現することができる。その結果、簡便な構成で高精度に1次元の表面形状を検知できる。また、被検物体を搬送、走査することなどで、2次元の表面形状を容易に検知できる。

請求項（抜粋）：

被検物を測定するための照射領域を照明する照明手段と、該照明手段により照明される照射領域に対応する前記被検物上の測定点からの反射光を結像入力するための結像手段と、該結像手段による結像位置に複数配置され、検出データを取得する位置検出手段とを具備することを特徴とする形状検知装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , G01B 11/00

FI (2件)：

G01B 11/24 C , G01B 11/00 B

Fターム (23件)：

2F065AA02 , 2F065AA24 , 2F065AA25 , 2F065AA30 , 2F065AA52 , 2F065BB15 , 2F065DD02 , 2F065FF01 , 2F065FF41 , 2F065FF67 , 2F065GG04 , 2F065GG14 , 2F065HH04 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ25 , 2F065LL00 , 2F065LL08 , 2F065LL09 , 2F065LL42 , 2F065MM03 , 2F065QQ21 , 2F065QQ32

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