特許

J-GLOBAL ID：200903048286163295

高純度パラタングステン酸アンモニウム結晶の製造方法

発明者： 緒方 俊 ,  関口 淳之輔 ,  菅原 静郎
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンエナジー
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-227779
公開番号（公開出願番号）：特開平6-056427
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】 放射性元素及び遷移元素等の不純物に対する精製効果に特に優れた高純度パラタングステン酸アンモニウム結晶の製造方法の確立。【構成】 メタタングステン酸アンモニウムを水に溶解して含タングステン水溶液を生成し、含タングステン水溶液(好ましくはpH:5.0〜7.0)をリン酸型又はアミドキシム型キレート樹脂と接触させ精製パラタングステン酸アンモニウム結晶析出母液を生成し、精製パラタングステン酸アンモニウム結晶析出母液を好ましくはpHを6.0〜8.0に調整し、50°C以上に加熱することによりパラタングステン酸アンモニウム結晶を析出させる。放射性元素を0.01ppb未満まで、遷移元素0.3ppm未満まで低減できるので、半導体デバイス作製用のスパッタリングターゲットの原料として有用である。

請求項（抜粋）：

(イ)メタタングステン酸アンモニウムを水に溶解して含タングステン水溶液を生成し、(ロ)該含タングステン水溶液をリン酸型又はアミドキシム型キレート樹脂と接触させて精製パラタングステン酸アンモニウム結晶析出母液を生成し、そして(ハ)該精製パラタングステン酸アンモニウム結晶析出母液のpHを調整後加熱することによりパラタングステン酸アンモニウム結晶を析出させることを特徴とする高純度パラタングステン酸アンモニウム結晶の製造方法。