特許
J-GLOBAL ID：200903048287439391
スピンコーティング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-013699
公開番号（公開出願番号）：特開平7-213990
出願日： 1994年02月07日
公開日（公表日）： 1995年08月15日
要約：
【要約】【目的】 表面欠陥の極めて少ないスピンコーティング方法を提供する。【構成】 コート剤の塗布をコートされる基材の外周縁近くから始めることにより、ノズルの先端に吸い込んだ空気に起因する気泡の発生による塗布むらを解消する。
請求項（抜粋）：
コーティングを施すべき基材のコーティング面をほぼ水平にして低速で回転させ、硬化型コート剤を塗布した後高速で回転してコート剤を振り切り、次いでコート剤を硬化処理するスピンコーティング方法において、塗布時のコート剤の供給を基材の外周近傍から開始し、コート剤を供給しつつ供給ノズルを基材の中央近傍に移動させることにより行なうことを特徴とするスピンコーティング方法。
IPC (2件)：
B05D 1/40
, G03F 7/16 502
