特許
J-GLOBAL ID：200903048291921424
イオン源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
明田 莞
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107570
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302658
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 イオン源装置の絶縁筒体の汚染を防止し、絶縁筒体の絶縁劣化による絶縁筒体交換に要する経費、ひいては運転コストより安価なイオン源装置を提供する【解決手段】 アークチャンバー内で生成したイオンを引き出すために、イオンの引出し方向に沿って第1電極と第2電極とが順次配設され、これら電極の各周縁間に絶縁筒体を設けて両電極を固定するイオン源装置において、前記絶縁筒体の内側に間隙を設けて絶縁性の内部筒体を配設し、この絶縁性の内部筒体は絶縁部材を介して前記絶縁筒体に固定されてなり、かつ、前記絶縁性の内部筒体と前記第1電極との間に間隙d1 および前記絶縁性の内部筒体と前記第2電極との間に間隙d2 が設けら、これら間隙d1 および間隙d2 はそれぞれ空間絶縁破壊を起こさない距離にあるイオン源装置。
請求項（抜粋）：
アークチャンバー内で生成したイオンを引き出すために、イオンの引出し方向に沿って第1電極と第2電極とが順次配設され、これら電極の各周縁間に絶縁筒体を設けて両電極を固定するイオン源装置において、前記絶縁筒体の内側に間隙を設けて絶縁性の内部筒体を配設し、この絶縁性の内部筒体は絶縁部材を介して前記絶縁筒体に固定されてなり、かつ、前記絶縁性の内部筒体と前記第1電極との間に間隙d1 および前記絶縁性の内部筒体と前記第2電極との間に間隙d2 が設けられ、これら間隙d1 および間隙d2 はそれぞれ空間絶縁破壊を起こさない距離であることを特徴とするイオン源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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