特許
J-GLOBAL ID:200903048314814035
粒子状物質のプラズマ処理のための装置及び方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
吉武 賢次
, 永井 浩之
, 岡田 淳平
, 名塚 聡
, 森 秀行
, 勝沼 宏仁
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-510542
公開番号(公開出願番号):特表2004-503615
出願日: 2001年06月08日
公開日(公表日): 2004年02月05日
要約:
粒子状物質のプラズマ処理の方法、さらに詳しくは、連続方式又は半連続方式によるプラズマで誘導する粒子状物質のグラフト重合のための装置、及び連続方式又は半連続方式によるプラズマで誘導する粒子状物質のグラフト重合のための方法を提供する。
請求項(抜粋):
連続方式又は半連続方式によるプラズマで誘導する粒子状物質のグラフト重合のための装置であって:
第1のホッパー区分、長手方向の中央区分、及び第2のホッパー区分を特徴とする真空加工チャンバーを有し;
前記第1のホッパー区分は注入口、閉鎖末端部、長手方向中央部分及び開放末端部を有し、前記第1のホッパー区分は第1の長手方向軸に従って位置が定められ、前記第1のホッパー区分の前記注入口は粒子状物質の送り込みバルブに取り外し可能に接続され;
前記長手方向中央区分は第1の開放末端部、長手方向中央部分、及び第2の開放末端部を有し、前記長手方向中央区分は前記第1の長手方向軸に従って位置を定められ;
前記真空加工チャンバーは前記長手方向中央区分の中央点にて第2の長手方向軸について少なくとも180度回転可能であり、前記第2の長手方向軸は前記第1の長手方向軸に対して垂直であり;
前記第2のホッパー区分は注入口、閉鎖末端部、長手方向中央部分及び開放末端部を有し、前記第2のホッパー区分は、前記第1の長手方向軸に従って位置が定められ、前記第2のホッパー区分の前記注入口は、重合可能な液状モノマーの送り込みバルブに取り外し可能に接続され;
前記第1のホッパー区分の前記開放末端部は、第1のバルブを介して前記長手方向中央区分の前記第1の開放末端部と接続され;
前記第2のホッパー区分の前記開放末端部は、第2のバルブを介して前記長手方向中央区分の第2の開放末端部と接続され;
前記真空加工チャンバーが回転位置「a」にある場合、前記粒子状物質送り込みバルブは前記第1のホッパー区分の前記注入口に取り外し可能に接続され、前記重合可能な液状モノマーの送り込みバルブは前記第2のホッパー区分の前記注入口に取り外し可能に接続され、また、前記真空加工チャンバーが回転位置「b」にあって、前記回転位置「b」が前記回転位置「a」に関して180度である場合、前記粒子状物質送り込みバルブは、前記第2のホッパー区分の前記注入口に取り外し可能に接続され、前記重合可能な液状モノマー送り込みバルブは前記第1のホッパー区分の前記注入口に取り外し可能に接続され;
前記真空加工チャンバーが回転位置「a」にある場合、前記第1のホッパー区分は未処理の及びプラズマ処理された粒子状物質を前記長手方向中央区分に送るように適合し、前記第2のホッパー区分は前記長手方向中央区分からの1以上のプラズマ処理された粒子状物質及び前記重合可能な液状モノマーを受け取るように適合し;
前記真空加工チャンバーが回転位置「b」にある場合、前記第2のホッパー区分は未処理の及びプラズマ処理された粒子状物質を前記長手方向中央区分に送るように適合し、前記第1のホッパー区分は前記長手方向中央区分からの1以上の前記プラズマ処理された粒子状物質及び前記重合可能な液状モノマーを受け取るように適合し;
前記長手方向中央区分は、その中で真空又は大気に近い圧力を維持するための真空発生ポンプ手段に接続され;及び
前記長手方向中央区分は、前記長手方向中央区分を通って前記粒子状物質が重力のもとで降下するときに前記粒子状物質をプラズマグロー放電に暴露するために、重合可能ではないプラズマ気体を用いて前記プラズマグロー放電を発生するためのその中に配置されたプラズマ発生電極を有する、ことを特徴とする装置。
IPC (3件):
C08F2/01
, C08F2/52
, C08F292/00
FI (3件):
C08F2/01
, C08F2/52
, C08F292/00
Fターム (30件):
4J011AA01
, 4J011AC03
, 4J011BA01
, 4J011BB01
, 4J011BB03
, 4J011BB04
, 4J011CA02
, 4J011CA10
, 4J011CC04
, 4J011CC10
, 4J011DB11
, 4J011DB13
, 4J011DB16
, 4J011DB22
, 4J011DB28
, 4J011QA03
, 4J011QA06
, 4J011QA07
, 4J011UA05
, 4J011WA02
, 4J026AA00
, 4J026BA18
, 4J026BA19
, 4J026BA21
, 4J026BA32
, 4J026BA36
, 4J026BA38
, 4J026DB36
, 4J026FA03
, 4J026GA02
前のページに戻る