特許
J-GLOBAL ID：200903048323560410
光学的測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
門間 正一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-066126
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272929
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 全光路系の熱歪等によるドリフトを補償し、高精度の測定を可能にする。【構成】 シャッタ240の閉じ時に基準面用ハーフミラー230からの反射光の光強度分布で光強度分布検出手段250で検出し、この光強度分布の中心位置を第1の中心検出手段260で検出することにより光源200,210のドリフト分を算出する。また、シャッタ240の開き時は、被測定物8からの反射光とハーフミラー230からの反射光とが合成された光の光強度分布を光強度分布検出手段250で検出し、この光強度分布からハーフミラー230の反射光により光強度分布を減算することにより、被測定物8からの光強度分布を算出し、その中心位置を第2の中心検出手段270で検出する。そして、第2の中心検出手段270で検出した光強度分布の中心位置信号から第1の中心検出手段260で検出した光ビームのドリフト分を差し引くことで、各光源毎の被測定物正面の傾きを求め、この各光源による傾きの差を傾き差演算手段290で算出することにより被測定面の真の傾きを求める。
請求項（抜粋）：
交互に光ビームを出射する一対の光源と、前記各光源から出射される光ビームを被測定物に向けて照射させる光学系と、前記光学系と前記被測定物間の光路上に配置された基準面用のハーフミラーと、前記ハーフミラーの光ビーム透過側に配置され前記各光源の出射タイミングに合わせて光路を開閉するシャッタと、前記シャッタの閉じ時に前記ハーフミラーで反射される各光ビームおよび前記シャッタの開き時に前記被測定物から反射される各光ビームの光強度分布を検出する光強度分布検出手段と、前記シャッタの閉じ時に各光源毎に前記光強度分布検出手段により検出された光強度分布の中心位置を検出してドリフト成分を求める第1の中心検出手段と、各光源毎に前記シャッタの開き時に検出された光強度分布から前記シャッタの閉じ時に検出された光強度分布を差し引くことにより得た被測定物からの光強度分布の中心位置を検出する第2の中心検出手段と、各光源毎に前記第2の中心検出手段から出力される中心位置信号から前記第1の中心検出手段から出力されるドリフト成分を差し引くことにより被測定物からの光強度分布の中心位置を補正する中心補正手段と、前記中心補正手段から出力される各光源毎の中心補正信号に基づいて被測定物の形状を算出する形状演算手段とを備えたことを特徴とする光学的測定装置。
IPC (2件)：
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