特許
J-GLOBAL ID：200903048328342144
ポリッシングパッドの成形装置及び方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-108757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-071558
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 パッドの全面を均一に成形するポリッシングパッドを成形する装置と方法を提供する。【解決手段】 ポリッシングパッドを成形する装置は、パッド成形ツールと固定部とを有し、この固定部は該固定部に固定された連結部から自由にパッド成形ツールを保持する。パッド成形ツールはパッド成形面を有し、これはポリッシング面を成形するために、ポリッシングパッドのポリッシング面と係合する。パッド成形面は、ポリッシング面と該ポリッシング面の全幅にわたって係合する大きさとしてある。固定部は、ポリッシングパッド回転中心周りでツールが移動するのを防止するとともに、パッドに対してツール中心が実質的に半径方向に移動するのを防止する。ポリッシングパッドを成形する方法もまた開示されている。
請求項（抜粋）：
物体を磨いて成形するためにポリッシング装置上の回転中心周りに回転自在に設けたポリッシングパッドを成形し、上記ポリッシングパッドは半径方向内側と半径方向外側の境界で定義されるポリッシング面と予め決められた半径方向の幅を有し、上記ポリッシング面は半径方向内側と外側の境界の間に断面形状を有する装置において、上記装置は、中心と、ポリッシングパッドのポリッシング面の断面形状を曲面形状からより平坦な形状に変更すべく、ポリッシングパッドのポリッシング面にこのポリッシング面を成形するために係合可能なパッド成形面とを有するパッド成形ツールと、固定部であってこの固定部の固定された連結部から自由な状態でパッド成形ツールを保持するために構成され、パッド形成ツールの成形面はパッドを固定部とパッド成形ツールに対して回転しながらパッドを成形するためにポリッシングパッドに係合し、ポリッシングパッドの回転中心周りでパッド成形ツールが回転するのを防止するとともにポリッシングパッドの中心に対してパッド成形ツールの中心が実質的に半径方向に移動するのを防止する固定部とを有する。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 321 A
