特許

J-GLOBAL ID：200903048335771077

石英ガラス製濾過装置

発明者： 白石 耕一 ,  安藤 久爾子 ,  高橋 研司
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-021059
公開番号（公開出願番号）：特開平6-226020
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：

【要約】【目的】 不純物イオン、ダストが非常に少ない高品質の半導体プロセスなどに使用される気体および薬液や純水などの液体が得られる石英ガラス製濾過装置を提供することを目的とする。【構成】 液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置において、前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラスから成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置、もしくは、前記濾過部が保温されていることを特徴とする石英ガラス製濾過装置

請求項（抜粋）：

液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置において前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラスから成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置。

IPC (6件)：

B01D 39/20 ,  B01D 35/18 ,  B01D 46/24 ,  B01D 46/42 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/304 341