特許
J-GLOBAL ID：200903048341368519
インクジェットヘッド
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-169340
公開番号（公開出願番号）：特開平6-008449
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：
【要約】【構成】 マイクロマシニング技術により、Si基板の両面にインク吐出用ノズルを、Si基板端面において千鳥状になるように配置、加工する。【効果】 ノズル密度の高いインクジェットヘッドを提供する。
請求項（抜粋）：
インク滴を吐出するための複数のノズルと、該ノズルのそれぞれに連通する圧力室と、該圧力室の少なくとも一方の壁を構成する振動板と、該圧力室にインクを供給する共通のインク室と、該振動板に変形を生じさせる駆動手段とを備え、前記駆動手段が前記振動板を静電気力により変形させる電極からなるインクジェットヘッドにおいて、(100)面方位のSi単結晶基板を構成部材とし、該Si単結晶基板の一方の面と他方の面のそれぞれに複数個の前記ノズルが等間隔に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
前のページに戻る
