特許

J-GLOBAL ID：200903048362604069

走査型電子顕微鏡

発明者： 福留 裕二
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-005145
公開番号（公開出願番号）：特開平8-195181
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】本発明は、電子顕微鏡本来の機能を制限することなく試料のチャージアップを除去する。【構成】試料7に照射される電子ビームのビーム電流値I1 、試料7を透過する電子ビームの電流値I2 を検出し、これら検出された各電流値I1 、I2 に基づいて試料7のチャージアップを判定し、チャージアップと判定した場合、2次電子放出比δに応じて簡易電子銃22の加速電圧Vo を求め、この加速電圧Vo を簡易電子銃22のフィラメント23に印加して電子ビームを試料7に照射し、この試料7のチャージアップを除去する。

請求項（抜粋）：

電子銃から出力された電子ビームを試料に照射し、この試料から放出される2次電子を捕えて前記試料に対する表面測定を行う走査型電子顕微鏡において、前記試料にチャージアップされた電荷を除去するための簡易電子銃と、前記試料に照射される電子ビームのビーム電流を検出するビーム電流検出手段と、前記試料を透過する電子ビームの電流を検出する透過電流検出手段と、少なくともこれら電流検出手段により検出された各電流値に基づいて前記試料のチャージアップを判定するチャージアップ判定手段と、前記ビーム検出手段により検出されたビーム電流値と前記2次電流による下限電流値との2次電子放出比に応じて前記試料のチャージアップを除去する前記簡易電子銃の加速電圧を求める加速電圧算出手段と、前記判定手段からのチャージアップ判定を受けた場合、前記加速電圧算出手段により求められた加速電圧を前記簡易電子銃に印加するチャージアップ検出手段と、を具備したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28