特許
J-GLOBAL ID：200903048372026675
研磨装置用ワークキャリヤ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 政名 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329190
公開番号（公開出願番号）：特開平11-156707
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 非円形ワークの加工精度を向上できるワークキャリヤを提供する。【解決手段】 第2円形キャリヤ2を自転しながら公転させることにより、その円形ホール2a内の偏心した第1円形キャリヤ1が該円形ホール2aに内接しながら第2円形キャリヤ2の回転とは逆方向へ回転し、これに保持された非円形薄板状ワークAを回転させる。
請求項（抜粋）：
複数枚の非円形薄板状ワークを1枚のキャリヤに保持し、このキャリヤが自転しながら公転することにより該ワークの両面を同時に研磨する研磨装置用ワークキャリヤであって、前記非円形薄板状ワーク(A)を1枚保持する第1円形キャリヤ(1)と、複数枚の第1円形キャリヤ(1)を夫々回転自在に保持するために円形ホール(2a)が開設された第2円形キャリヤ(2)とを備え、上記円形ホール(2a)の中心(2b)を第2円形キャリヤ(2)の中心(2c)より同一の距離に配置したことを特徴とする研磨装置用ワークキャリヤ。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 C
, H01L 21/304 321 H
