特許

J-GLOBAL ID：200903048381527652

硬度測定方法

発明者： 矢島 正男
出願人/特許権者： 株式会社三協精機製作所
代理人 (1件)： 樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-007658
公開番号（公開出願番号）：特開平5-196563
出願日： 1992年01月20日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】【目的】測定試料の硬度測定を全自動で行なう測定方式において、正確な測定を高速で行なう。【構成】測定試料に圧子により圧痕を形成したのちレボルバーを回転して適正倍率の対物レンズを選択し、撮像素子の全受光面をAFエリアとして大まかにオートフォーカスを行ない、大まかな合焦状態において撮像素子出力を2値化し、そのデータにより圧痕位置を検索し、検索された圧痕の回りに圧痕よりもやや大きいAFエリアを再設定して精細なオートフォーカスを行い、精細な合焦状態において、拡大圧痕像よりもやや大きい領域を測定エリアとして設定し、この測定エリア内のデータに基づき圧痕像の対角線長を測定して硬度算出を行なう。

請求項（抜粋）：

互いに直交するX,Y,Z方向へ移動可能で、Z方向に平行な回動軸の回りに回動可能な移動ステージと2次元の撮像素子を上記Z方向に於いて対向せしめ、結像倍率の異なる複数の対物レンズと圧子とを回転軸から等距離の位置に備えたレボルバーを、上記移動ステージと撮像素子との間に、Z方向に平行な上記回転軸の回りに回転可能且つZ方向へ移動可能に配備し、移動ステージ上に設置された測定試料に上記圧子により圧痕を形成したのち上記レボルバーを回転して適正倍率の対物レンズを選択し、選択された対物レンズにより圧痕の拡大像を上記撮像素子の受光面上に結像させて圧痕像を読み取り、圧痕像の対角線長を測定し、測定試料の硬度を算出する全自動硬度測定方式において、適正倍率の対物レンズを選択したのち、撮像素子の全受光面をAFエリアとして大まかにオートフォーカスを行ない、大まかな合焦状態において撮像素子出力を2値化し、そのデータにより圧痕位置を検索し、検索された圧痕の回りに圧痕よりもやや大きいAFエリアを再設定して精細なオートフォーカスを行い、精細な合焦状態において、拡大圧痕像よりもやや大きい領域を測定エリアとして設定し、この測定エリア内のデータに基づき圧痕像の対角線長を測定して、硬度算出を行なうことを特徴とする硬度測定方法。