特許

J-GLOBAL ID：200903048382078398

振動アクチュエータ

発明者： 菅谷 功
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-142659
公開番号（公開出願番号）：特開平9-065674
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 安定した駆動が得られ、駆動力や駆動効率が向上し、性能の個体差が低減される超音波アクチュエータを提供する。【解決手段】 圧電素子を一方の平面に接合される円環状の弾性体と,この弾性体が他方の平面で加圧接触する相対運動部材とを備え、駆動力となる第1振動モードと弾性体及び相対運動部材間でクラッチ的に作用する第2振動モードとを発生する超音波アクチュエータにおいて、第1振動モードの共振周波数が第2振動モードの共振周波数以上である。

請求項（抜粋）：

円環状に形成された弾性体と,前記弾性体に接合された電気機械変換素子と,前記弾性体に加圧接触される相対運動部材とを備え、前記電気機械変換素子の励振により、前記弾性体に、前記円環の形状が形成される基準面と平行な面内で振動する第1振動モードと、前記基準面に交差する方向へ振動する、1個以上の節円及び1個以上の節直径を有する屈曲振動である第2振動モードとを発生させることで、前記弾性体と前記相対運動部材との接触面に、前記弾性体及び前記相対運動部材間に相対運動を行わせる振動を発生させる振動アクチュエータであって、前記第1振動モードの共振周波数は、前記第2振動モードの共振周波数以上に設定されていることを特徴とする振動アクチュエータ。