特許

J-GLOBAL ID：200903048384203904

プラズマ電極用カバー

発明者： 森影 達也 ,  萩原 克佳
出願人/特許権者： 川崎マイクロエレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 望稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-293188
公開番号（公開出願番号）：特開2003-100713
出願日： 2001年09月26日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：

【要約】【課題】低コストでプラズマからプラズマ発生用電極を保護することができるプラズマ電極用カバーを提供する。【解決手段】本発明のプラズマ電極用カバーは、側壁によって囲まれた凸部と、凸部の周囲に側壁を介してつながる略平坦な周辺部とを有するプラズマ生成用電極の周辺部を覆うものであり、プラズマ生成用電極の凸部の側壁に近接する部分を覆う内周部と、内周部の外側に組み合わされるリング状の外周部とに分割されている。また、内周部が周方向に分割された複数の部分からなり、複数の部分が組み合わされることによって、プラズマ生成用電極の凸部の側壁に隣接するリング状の内周部が形成されている。

請求項（抜粋）：

側壁によって囲まれた凸部と、該凸部の周囲に該側壁を介してつながる略平坦な周辺部とを有するプラズマ生成用電極に対して一定の位置関係で取り付けられ、該電極の周辺部を覆うプラズマ電極用カバーであって、周方向に分割された複数の部分からなり、該複数の部分が組み合わされることによって前記側壁に隣接するリング状の内周部が形成されることを特徴とするプラズマ電極用カバー。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/509

FI (3件)：

C23C 16/44 J ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/302 C

Fターム (13件)：

4K030DA04 ,  4K030FA03 ,  4K030GA02 ,  4K030KA12 ,  4K030KA14 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB30 ,  5F004BB32 ,  5F004BC02 ,  5F004BC03