特許

J-GLOBAL ID：200903048387540367

質量分析計

発明者： 赤松 直俊 ,  江口 欣也 ,  山口 裕功
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191432
公開番号（公開出願番号）：特開平9-045276
出願日： 1995年07月27日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：

【要約】【構成】レーザー6を備え、試料2に正対するように配置した対物レンズ22及びイオンを引き出すイオン加速電極40を備える質量分析計。【効果】集光径を小さくし、分解能の高い像が得られる。

請求項（抜粋）：

試料を励起するレーザ光源と、試料観察用の照明光源と、前記各照明光源からの光を前記試料に導く光反射ミラーと、レーザ光を集光し前記試料を観察用顕微鏡と、前記試料が配置される試料台と、前記試料から放出されたイオンを加速する加速電極と、加速されたイオンを反射するイオンリフレクタと、前記イオンリフレクタで反射されたイオンを検出するイオン検出器を備えた質量分析計において、前記顕微鏡を、前記試料に正対する位置におき、加速電極によりイオンを、レーザ光入射方向に対して垂直方向に飛行させることを特徴とする質量分析計。

IPC (3件)：

H01J 49/10 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62

FI (3件)：

H01J 49/10 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/62 K