特許
J-GLOBAL ID：200903048396457871
サーミスタ薄膜の形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-282436
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115908
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 簡易な操作により緻密で広範囲に均質なサーミスタ薄膜を安価に形成する。【構成】 硝酸アルミニウム等のアルミニウム化合物、硝酸クロム等のクロム化合物、硝酸鉄等の鉄化合物及び硝酸ニッケル等のニッケル化合物からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物と、硝酸マグネシウム等のマグネシウム化合物とを多価アルコールに溶解してアルコール溶液を調製し、この溶液にカルボン酸を添加混合した後、好ましくはこの混合液にアルコールを添加混合してコーティング溶液を調製する。このコ-ティング溶液を耐熱性のある基体の表面に塗布して塗膜を形成し、この基体を乾燥熱処理してアルミニウム、クロム、鉄及びニッケルのうち少なくとも1種とマグネシウムを含む複合酸化物前駆体を生成し、この前駆体を焼成してサーミスタ薄膜を得る。
請求項（抜粋）：
アルミニウム化合物、クロム化合物、鉄化合物及びニッケル化合物からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物と、マグネシウム化合物とをエチレングリコール、ジエチレングリコール及びグリセリンからなる群より選ばれた1種又は2種以上の多価アルコールに溶解してアルコール溶液を調製し、前記アルコール溶液にオキシ酸、アミノ酸、ジカルボン酸、オレフィンカルボン酸及び芳香族カルボン酸からなる群より選ばれた1種又は2種以上のカルボンシ酸を添加混合してコーティング溶液を調製し、前記コ-ティング溶液を耐熱性のある基体の表面に塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を形成した基体を乾燥熱処理してアルミニウム、クロム、鉄及びニッケルのうち少なくとも1種とマグネシウムとを含む複合酸化物前駆体を生成し、前記複合酸化物前駆体を600〜1000°Cの温度で焼成するサーミスタ薄膜の形成方法であって、前記アルミニウム化合物は硝酸アルミニウム、酢酸アルミニウム、炭酸アルミニウム及び塩化アルミニウムからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物であって、前記クロム化合物は硝酸クロム、酢酸クロム、炭酸クロム及び塩化クロムからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物であって、前記鉄化合物は硝酸鉄、酢酸鉄、炭酸鉄及び塩化鉄からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物であって、前記ニッケル化合物は硝酸ニッケル、酢酸ニッケル、炭酸ニッケル及び塩化ニッケルからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物であって、前記マグネシウム化合物は硝酸マグネシウム、酢酸マグネシウム、炭酸マグネシウム及び塩化マグネシウムからなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物であることを特徴とするサーミスタ薄膜の形成方法。
IPC (5件)：
C01B 13/14
, C01F 5/00
, C01G 37/00
, C01G 49/00
, C01G 53/00
