特許
J-GLOBAL ID：200903048401377482
蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-028762
公開番号（公開出願番号）：特開平10-219448
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】 測定光に到達する金属蒸気量を減らし、案内ダクトを通過する金属蒸気量を高精度で且つ応答性良く測定する。【解決手段】 金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定室7内に開口した蒸気取出し管6を介して案内フードから蒸気量測定室7に金属蒸気3を導く。金属蒸気3の一部を窒素ガス15と共に排気管16を介して測定室7から排出し、減量した金属蒸気3に測定光9を照射し、金属蒸気3に吸収された光量から金属蒸気量を求める。【効果】 金属蒸気3の大半が窒素ガス14と共に測定室7から排気されるので、測定光9に至る金属蒸気量を吸光度が飽和する蒸気量よりも少なくでき、高精度の測定が可能になる。
請求項（抜粋）：
金属蒸発源から被めっき鋼帯に金属蒸気を導く案内フード内に一端が開口し、他端が蒸気量測定室内に開口した蒸気取出し管を介して案内フードから蒸気量測定室に金属蒸気を導き、蒸気量測定室に送り込まれた金属蒸気流に直交して窒素ガスを蒸気量測定室に導入し、導入した窒素ガスと共に金属蒸気の大半を排出し、残りの金属蒸気に測定光を照射し、金属蒸気に吸収された光量から金属蒸気量を求める蒸着めっき用金属蒸気量の測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 A
, C23C 14/54 A
