特許
J-GLOBAL ID:200903048407649573

エッチング穿孔性に優れたフラットマスク用高強度合金条

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-089055
公開番号(公開出願番号):特開2002-285291
出願日: 2001年03月27日
公開日(公表日): 2002年10月03日
要約:
【要約】【課題】エッチング穿孔性に優れたフラットマスク用高強度Fe-Ni-Co系またはFe-Ni系合金条の開発。【解決手段】質量百分率(%)に基づいて(以下、%と表記する)、Co:4.0%〜6.0%、Ni+Co:36.0%〜38.0%、残部Feおよび不可避的不純物からなるFe-Ni-Co系合金、または、Ni:35.0%〜37.0%、残部Feおよび不可避的不純物からなるFe-Ni系合金において、さらにNbを0.05%〜0.40%含み、かつ、不可避的不純物のOが0.0050%以下、エッチング穿孔前の圧延平行断面に存在する長さ10μm以上の介在物組成が、ニオブ酸化物と、少なくともAl、Si、のうちの1種以上を含む酸化物との複合酸化物であることを特徴とするエッチング穿孔性に優れたフラットマスク用高強度合金条。
請求項(抜粋):
質量百分率(%)に基づいて(以下、%と表記する)、Co:4.0%〜6.0%、Ni+Co:36.0%〜38.0%、残部Feおよび不可避的不純物からなるFe-Ni-Co系合金において、さらにNbを0.05%〜0.40%含み、かつ、不可避的不純物のOが0.0050%以下、エッチング穿孔前の圧延平行断面に存在する長さ10μm以上の介在物組成が、ニオブ酸化物と、少なくともAl、Si、のうちの1種以上を含む酸化物との複合酸化物であることを特徴とするエッチング穿孔性に優れたフラットマスク用高強度合金条。
IPC (4件):
C22C 38/00 302 ,  C22C 38/12 ,  H01J 9/14 ,  H01J 29/07
FI (4件):
C22C 38/00 302 Z ,  C22C 38/12 ,  H01J 9/14 G ,  H01J 29/07 Z
Fターム (2件):
5C027HH02 ,  5C031EE05

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