特許
J-GLOBAL ID：200903048414491349
粗微動駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-088821
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287957
出願日： 1998年04月01日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：
【要約】【課題】ステージの焦点位置への再設定が容易で、試料と対物レンズとの衝突時における各部損傷を最小限に止どめ得、電動から手動への切換えが容易で、操作ミスによる衝突事故も回避できる粗微動駆動装置を提供。【解決手段】試料載置用のステージ(11)と、ステージ(11)の位置を粗微動調整する粗動ハンドル(13)及び微動ハンドル(12)を有し微動ハンドル(12)によりステージ(11)が移動限界に到達すると粗動ハンドル(13)が回転開始する如く設けられたステージ位置調整機構(10)と、微動ハンドル(12)を回転駆動する電動モータ(23)と、粗動ハンドル(13)と共に回転する指標回転体(27)と、指標回転体(27)の回転を検出する回転検出器(29)と、ステージ(11)を一方の移動限界に到達させた時に回転検出器(29)から出力される検出信号に基いて基準位置を設定し基準位置からの移動量によってステージ(11)を位置合せする手段(21,22,24,10) とを具備。
請求項（抜粋）：
観察用の試料を載せるステージと、このステージの位置を粗動調整するための粗動ハンドルおよび微動調整するための微動ハンドルを有し、前記微動ハンドルによる微動調整により前記ステージが移動限界に到達すると前記粗動ハンドルが回転を開始する如く設けられたステージ位置調整機構と、前記微動ハンドルを回転駆動する電動モータと、前記粗動ハンドルに付設され、当該粗動ハンドルの回転に伴って回転する指標回転体と、この指標回転体の回転を検出する回転検出器と、前記ステージを一方の移動限界に到達させたときに前記回転検出器から出力される検出信号に基づいて基準位置を設定し、設定された基準位置からの移動量によって前記ステージの位置合わせを行なう手段と、を備えたことを特徴とする粗微動駆動装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B 21/26
, G02B 7/04 F
, G02B 7/04 D
