窒化アルミニウム質基板

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-283831
公開番号（公開出願番号）：特開平9-124383
出願日： 1995年10月31日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウム質焼結体の表面に薄層のメタライズ層やメッキ層を形成した時、ピンホールが形成され、メタライズ層の信頼性を損ねていた。【解決手段】窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム質焼結体からなる絶縁基体2の表面にメタライズ層3を配設してなる窒化アルミニウム質基板1において、窒化アルミニウム質焼結体2中におけるイオウおよびカルシウムの含有量を合量で250ppm以下に制御する。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主成分とする窒化アルミニウム質焼結体からなる絶縁基体の少なくとも表面にメタライズ層を配設してなる窒化アルミニウム質基板において、前記窒化アルミニウム質焼結体中におけるイオウおよびカルシウムの含有量が合量で250ppm以下であることを特徴とする窒化アルミニウム質基板。

IPC (4件)：

C04B 41/88 , C04B 35/581 , H01L 23/15 , H05K 1/03 610

FI (5件)：

C04B 41/88 Q , H05K 1/03 610 E , C04B 35/58 104 Y , C04B 35/58 104 A , H01L 23/14 C

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