セラミツク製静電チヤツク

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-157207
公開番号（公開出願番号）：特開平5-006933
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】セラミック製静電チャックの吸着面1aへのゴミ付着を防止し、ウェハ吸着時の平坦度を高めるとともに、電源を切った後の離脱性を高める。【構成】吸着面1aに凹部を形成して、被吸着物6との接触部を面積比10〜30%とするとともに、上記接触部の表面粗さ(Rmax)を0.8S以下とする。

請求項（抜粋）：

内部電極を有するセラミック板状体の上面を吸着面とするとともに、該吸着面に凹部を形成して、被吸着物との接触部の面積比を10〜30%とし、かつ上記接触部の表面粗さ(Rmax)を0.8S以下としたことを特徴とするセラミック製静電チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B25J 15/06

引用特許：

審査官引用 (5件)

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