特許
J-GLOBAL ID：200903048424991358
洗浄装置及び洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-165967
公開番号（公開出願番号）：特開平8-008224
出願日： 1994年06月23日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】本発明は洗浄装置において、二重管構造でなる炉心管の内壁の洗浄効率を従来に比して高める。【構成】洗浄液供給口から供給される洗浄液を管状部材を介して炉心管のプロセスガス導入管に直接供給する。これにより炉心管の内壁に沿つて洗浄液が循環するようになる。この結果、従来の洗浄装置では十分に洗浄するのに時間がかかつたり、洗浄できなかつた炉心管の内壁部分を効率よく洗浄することができる。
請求項（抜粋）：
二重管構造の炉心管の洗浄に用いられる洗浄装置において、上記炉心管のプロセスガス導入管に洗浄液を供給するために設けられた洗浄液供給口と、一端が上記洗浄液供給口に取り付けられ、他端が上記プロセスガス導入管に接続される管状部材と、上記管状部材と上記プロセスガス導入管とを接続する取付具とを具えることを特徴とする洗浄装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
