特許

J-GLOBAL ID：200903048428002600

光電変換装置およびその製造方法

発明者： 板橋 政次
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (4件)： 宮崎 昭夫 ,  石橋 政幸 ,  岩田 慎一 ,  緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-307004
公開番号（公開出願番号）：特開2006-120845
出願日： 2004年10月21日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：

【課題】光電変換素子の受光面に到達する入射光の集光効率の向上を図り、受光感度を向上させる。【解決手段】複数の光電変換素子2が形成された半導体基板1上に、第1、第2の絶縁層4,6が積層され、これらの絶縁層4,6上の、隣接する光電変換素子2間の領域上に第1、第2のパターン層5,7が形成されている。第2のパターン層6によって構成される遮光膜の開口部の内側の領域の少なくとも一部には、第1、第2の絶縁層4,6を貫いて、光電変換素子2上に延びる穴が形成され、この穴内に、第1、第2の絶縁層4,6よりも屈折率の高い光導波路形成部材8が設けられて、光導波路8aが形成されている。光導波路形成部材8の表面には、光導波路8aの直上の位置に窪みが形成され、この窪み上に、光導波路形成部材8よりも屈折率の大きい層内レンズ形成部材9が設けられて、層内レンズ9aが形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光電変換素子が形成された半導体基板と、該半導体基板上に形成された層間膜と、を有する光電変換装置において、 前記層間膜を貫いて前記光電変換素子の受光面上へと延び、側壁で光を反射することによって、入射した光を前記光電変換素子の受光面へ導く光導波路と、 前記光導波路を形成する部材上のレンズと、を有し、該レンズが光導波路を形成する部材表面の形状に対応した形状を有し、前記光導波路を形成する部材と前記レンズを形成する部材とが異なる屈折率を有することを特徴とする光電変換装置。

IPC (2件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (2件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 U

Fターム (25件)：

4M118AB01 ,  4M118BA09 ,  4M118CA03 ,  4M118CA05 ,  4M118CA09 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118FA26 ,  4M118FA28 ,  4M118GA09 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD08 ,  5C024AX01 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024GX03 ,  5C024GX04 ,  5C024GY01

引用特許：

出願人引用 (3件)

• オンチップマイクロレンズを備えた固体撮像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-205632   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平04-199874号公報
  
• 固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-218683   出願人：ソニー株式会社