特許

J-GLOBAL ID：200903048429959630

マスク用コンテナ、リソグラフ・マスクをコンテナ内へ移送する方法及びコンテナ内のマスクを走査する方法

発明者： ゲルト - ヤン ヘーレンス
出願人/特許権者： エイエスエムエル ネザランドズ ベスローテン フエンノートシャップ
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  岩本 行夫 ,  吉田 裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-429098
公開番号（公開出願番号）：特開2004-214658
出願日： 2003年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】走査プロセスの間においても、マスクを汚染から保護する保管及び移送デバイスを提供する。【解決手段】少なくとも所定の波長の放射に対して少なくとも部分的に半透明であり、所定の波長の光を使用して、コンテナ70の外部からマスクMAの像を得ることができるように形成されている。コンテナ70の半透明部分は、ガラス及びプレキシガラスのうちの少なくとも1つの材料でできている。これにより、コンテナ70を通してマスクMAを走査することができる。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

マスク(MA)を封入することができるコンテナであって、前記コンテナ(70)が、少なくとも所定の波長の放射に対して少なくとも部分的に半透明であり、前記コンテナが、前記所定の波長の光を使用して、前記コンテナ(70)の外部から前記マスク(MA)の像を得ることができるように形成されていることを特徴とするコンテナ。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  B65G49/06 ,  G03F1/14 ,  H01L21/68

FI (7件)：

H01L21/30 531M ,  B65G49/06 Z ,  G03F1/14 M ,  H01L21/68 A ,  H01L21/68 T ,  H01L21/30 503E ,  B65D85/38 Z

Fターム (29件)：

2H095BB29 ,  2H095BC30 ,  2H095BE12 ,  3E096AA01 ,  3E096AA13 ,  3E096BA30 ,  3E096BB05 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096DA25 ,  3E096DA30 ,  3E096DB01 ,  3E096EA10X ,  3E096FA03 ,  3E096FA11 ,  3E096FA22 ,  3E096GA01 ,  5F031CA07 ,  5F031DA12 ,  5F031EA01 ,  5F031EA10 ,  5F031EA19 ,  5F031EA20 ,  5F031FA03 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F046AA21 ,  5F046GD11 ,  5F046GD20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• レチクルを保護するための取り外し可能なカバー、そのカバーを含むシステム、およびそのカバーを使用する方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2001-530646   出願人：エーエスエムエルユーエス,インコーポレイテッド
• 特開平4-093947
  
• 特開平4-027949