特許

J-GLOBAL ID：200903048435523089

ワイヤソーのスラリータンク

発明者： 土島 次郎
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195532
公開番号（公開出願番号）：特開平11-033912
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】砥粒を堆積、固化させることなくスラリを貯留することができるワイヤソーのスラリータンクの提供。【解決手段】スラリータンク34内にスラリ40を攪拌する攪拌翼52A、52Bを2機設置する。この2機の攪拌翼52A、52Bの回転数を制御装置60によって連続的に変化させる。これにより、スラリータンク34内のスラリ40に生じる流れが連続的に変化し、沈殿した砥粒が一定の箇所に堆積するということがなくなる。

請求項（抜粋）：

走行するワイヤ列に被加工物を押し付け、その接触部にスラリータンクに貯留されたスラリを循環供給させることにより、前記被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記スラリータンクは、回転することにより前記スラリータンクに貯留されたスラリを攪拌する複数の攪拌翼と、前記攪拌翼を回転させるモータと、前記モータを制御して、前記複数の攪拌翼の回転数を連続的又は間欠的に変化させる制御装置と、を備えていることを特徴とするワイヤソーのスラリータンク。