特許

J-GLOBAL ID：200903048438875377

成膜装置

発明者： 引地 敏夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-309086
公開番号（公開出願番号）：特開2004-143520
出願日： 2002年10月24日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】膜の品質の向上、および成膜効率の向上を図る。【解決手段】フィルム状の被処理体が、周面に沿って走行するようになされている円筒状のキャンを有し、キャンは、筒状部101とフランジ102、103によって構成されて成り、筒状部101の被処理体走行面を冷却する冷却機構を具備し、筒状部101およびフランジ102、103は、熱膨張係数が5.0×10-6/°C以下の材料により形成されているものとする。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

フィルム状の被処理体が、周面に沿って走行するようになされている円筒状のキャンを有し、 上記キャンは、筒状部と、当該筒状部の両端部を封止するフランジによって構成されて成り、 上記被処理体の走行面を冷却する冷却機構を具備し、 上記筒状部および上記フランジは、熱膨張係数が5.0×10-6/°C以下の材料により形成されていることを特徴とする成膜装置。

IPC (4件)：

C23C14/56 ,  C23C16/54 ,  G11B5/84 ,  G11B5/85

FI (4件)：

C23C14/56 A ,  C23C16/54 ,  G11B5/84 B ,  G11B5/85 A

Fターム (22件)：

4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA24 ,  4K029BD11 ,  4K029CA01 ,  4K029JA10 ,  4K030BA28 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030FA01 ,  4K030GA14 ,  4K030KA46 ,  4K030LA20 ,  5D112AA05 ,  5D112AA07 ,  5D112AA22 ,  5D112BB05 ,  5D112BC05 ,  5D112FA02 ,  5D112FA10 ,  5D112FB25 ,  5D112GB01