アクリル酸またはメタクリル酸のエステル組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289960
公開番号（公開出願番号）：特開平5-125015
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：

【要約】【目的】本発明は耐めっき性及び剥離性に優れたフォトレジストを形成する事の出来る新規な(メタ)アクリル酸エステル組成物を提供する。【構成】水酸基3ケ以上を有する多価アルコールに、アルキレンオキサイドを水酸基1ケ当り平均5〜12モル付加させ、これを(メタ)アクリル酸などでエステル化して得た(メタ)アクリル酸エステル組成物。【効果】本発明のエステル組成物を用いることにより耐めっき性及び剥離性に優れたフォトレジストフィルムを得ることができる。

請求項（抜粋）：

多価アルコールにアルキレンオキサイドを付加させた後、エステル化することにより得られる(メタ)アクリル酸エステル組成物であって、a)多価アルコールは、1分子中に3個以上の水酸基を有する多価アルコールであり、b)アルキレンオキサイドは、プロピレンオキサイド単独またはプロピレンオキサイドとエチレンオキサイドとの組み合せからなり、c)アルキレンオキサイドがプロピレンオキサイドとエチレンオキサイドとの組み合せからなる場合には、プロピレンオキサイドの含有率が67モル%以上であって、d)アルキレンオキサイドの付加モル数は、該多価アルコールの水酸基1モルあたり平均5〜12モルの範囲であって、e)1分子中に平均1.5個以上の(メタ)アクリル酸エステル基を持つアクリル酸及び/またはメタクリル酸のエステル組成物。

IPC (6件)：

C07C 69/54 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/038 , H01L 21/027 , H05K 3/06

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