特許

J-GLOBAL ID：200903048439226674

ポジ型感光性ガラスペースト組成物及びそれを用いた焼成物パターン形成方法

発明者： 山下 周子 ,  伊藤 秀之
出願人/特許権者： 太陽インキ製造株式会社
代理人 (1件)： ▲吉▼田 繁喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-250346
公開番号（公開出願番号）：特開2000-067649
出願日： 1998年08月21日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 粘度安定性に優れ、現像時にアンダーカットを生じず、焼成工程においてパターンエッジのカール(反り)や剥れのない高精細な焼成物パターンを形成できるポジ型感光性ガラスペースト組成物及び焼成物パターン形成方法を提供する。【解決手段】 組成物は、(A)側鎖に下記一般式(1)で表わされる基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜50,000の重合体、(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物、(C)希釈溶剤、(D)ガラスフリット、あるいはさらに(E)セラミック粉末、黒色顔料、導電性金属粉等の無機粉体を含有する。該組成物を基板に塗布し、加熱乾燥して得たタックフリーの塗膜に活性エネルギー線を選択的に照射し、加熱した後、照射部の塗膜を弱アルカリ水溶液で現像して除去し、焼成することにより、プラズマディスプレイパネルの隔壁パターンや誘電体パターン、導体パターンなどを形成できる。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)側鎖に下記一般式(1)で表わされる基を2個以上有する重量平均分子量1,000〜50,000の重合体、(B)活性エネルギー線の照射により酸を発生する化合物、(C)希釈溶剤、及び(D)ガラスフリットを含有することを特徴とするアルカリ現像型のポジ型感光性ガラスペースト組成物。【化1】

IPC (5件)：

H01B 3/08 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/02 ,  C03C 8/14 ,  G03F 7/039 601

FI (5件)：

H01B 3/08 A ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B ,  C03C 8/14 ,  G03F 7/039 601

Fターム (139件)：

2H025AA00 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ00 ,  2H025BJ04 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4G062AA08 ,  4G062AA09 ,  4G062AA15 ,  4G062BB01 ,  4G062BB04 ,  4G062BB08 ,  4G062DA03 ,  4G062DA04 ,  4G062DA05 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DB03 ,  4G062DB04 ,  4G062DC02 ,  4G062DC03 ,  4G062DC04 ,  4G062DC05 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DE02 ,  4G062DE03 ,  4G062DE04 ,  4G062DE05 ,  4G062DE06 ,  4G062DF05 ,  4G062DF06 ,  4G062DF07 ,  4G062EA01 ,  4G062EB01 ,  4G062EC03 ,  4G062EC04 ,  4G062ED01 ,  4G062ED02 ,  4G062ED03 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062EG02 ,  4G062EG03 ,  4G062EG04 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FB02 ,  4G062FB03 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA02 ,  4G062GA03 ,  4G062GA04 ,  4G062GA05 ,  4G062GA06 ,  4G062GA07 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM07 ,  4G062MM12 ,  4G062NN05 ,  4G062NN26 ,  4G062PP01 ,  4G062PP13 ,  4G062PP14 ,  5C027AA02 ,  5C027AA06 ,  5C027AA09 ,  5C040GD07 ,  5C040GF18 ,  5C040JA02 ,  5C040JA15 ,  5C040KA04 ,  5C040KA07 ,  5C040KA09 ,  5C040KA11 ,  5C040KA16 ,  5C040KB02 ,  5C040MA23 ,  5C040MA24 ,  5G303AA10 ,  5G303AB20 ,  5G303BA07 ,  5G303CA01 ,  5G303CA02 ,  5G303CA09 ,  5G303CB01 ,  5G303CB02 ,  5G303CB03 ,  5G303CB05 ,  5G303CB14 ,  5G303CB17 ,  5G303CB25 ,  5G303CB30 ,  5G303CB35 ,  5G303CB38 ,  5G303CC01 ,  5G303CC08