特許

J-GLOBAL ID：200903048450260329

紫外線照射装置

発明者： 松下 孝夫 ,  黒田 繁寿
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-034713
公開番号（公開出願番号）：特開平10-233372
出願日： 1997年02月19日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】 紫外線照射手段の小型化を図ることができるとともに、回転中心部での過度の紫外線照射を抑制して、局部的な発熱を回避し、粘着テープに熱的悪影響を与えないようにする。【解決手段】 半導体ウエハなどの物品に貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープに紫外線を照射して粘着テープの粘着力を低下させる場合などに使用される紫外線照射装置であって、粘着テープTを貼付けた半導体ウエハWを載置保持して回転する回転台3の上方に、回転中心P側ほど半導体ウエハWとの距離が大きくなるように半導体ウエハWの回転面Sに対して傾斜した姿勢に紫外線照射ランプ8を配備する。

請求項（抜粋）：

照射対象物を保持して回転する回転手段と、回転中心側ほど距離が大きくなるように照射対象物の回転面に対して傾斜して配置した紫外線照射手段とを備えてなる紫外線照射装置。

IPC (4件)：

H01L 21/301 ,  G21K 5/00 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

H01L 21/78 P ,  G21K 5/00 Z ,  H01L 21/304 321 A ,  H01L 21/68 N