特許
J-GLOBAL ID：200903048452352174
表面電位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-167668
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031892
出願日： 1994年07月20日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】高電圧や超高真空を必要とせずに、表面電位の絶対値を測定し得る表面電位測定装置を提供する。【構成】電子線源と、電子線源から放出されて試料表面に入射した電子の量を測定する検出器および/または試料表面で反射した電子の量を測定する検出器を備え、電子線源から放出される電子線のエネルギを制御する機構111を有する表面電位測定装置において、MIM(金属-絶縁体-金属)積層構造を持つ電子線源101を用いる。
請求項（抜粋）：
電子線源と、前記電子線源から放出されて試料表面に入射した電子の量を測定する検出器および/または試料表面で反射した電子の量を測定する検出器を備え、前記電子線源から放出される電子線のエネルギを制御する機構を有し、前記電子線源として金属-絶縁体-金属積層構造を持つことを特徴とする表面電位測定装置。
IPC (6件)：
H01L 21/66
, G01R 19/00
, G01R 29/12
, G01R 31/302
, G21K 5/04
, H01J 1/30
