特許
J-GLOBAL ID：200903048454760806

真空槽用光電スイッチ及び真空搬送装置

発明者：
三浦 孝雄

三浦 孝雄 について


出願人/特許権者：
サンクス株式会社

サンクス株式会社 について


代理人 (1件)： 後呂 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-043834
公開番号（公開出願番号）：特開2002-245910
出願日： 2001年02月20日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】【課題】 透光窓を1つ設けるだけで内部の被処理物を検出できる真空槽を提供することにあり、また、それに適した真空槽用光電スイッチを提供する。【解決手段】 光電スイッチ本体10は、真空槽20の外側に、投光部11及び受光部12を透光窓22に向けた状態で、真空槽20の外壁面に固着されている。リフレクタ13は、真空槽20内であって、透光窓22が設けられた壁面に対向する内壁面上に、反射面を透光窓22に向けた状態で、取り付け基板に形成された一対の取付孔H,Hが真空槽20の軸方向に並ぶ向きで、それぞれの取付孔H,Hに例えばボルト等を通して固着されている。ここでリフレクタ13は、取付孔H,Hの並列方向と、反射面M1,M2の交線Lとは45度の角度をなすように形成されているから、光電スイッチ本体10側から見ると、一対の反射面は、真空槽20の軸方向に対して45度傾いた状態で取付けられることになる。
請求項（抜粋）：
投光部及び受光部を並設した光電スイッチ本体と、前記投光部からの光を反射して前記受光部に返すリフレクタとからなり、真空槽内で移動する被処理物を検出するための真空槽用光電スイッチにおいて、前記光電スイッチ本体を前記真空槽に形成した透光窓の外側に設けると共に、前記リフレクタを金属製として前記真空槽内のうち前記光電スイッチ本体との間で前記被処理物の通過経路を挟む位置に設け、前記光電スイッチ本体の前記投光部から前記透光窓を通して前記真空槽内に光を出射し、前記リフレクタで反射する光を前記光電スイッチ本体の受光部にて受光するようにしたことを特徴とする真空槽用光電スイッチ。
IPC (4件)：
H01H 35/00 ,  B01J 3/02 ,  G02B 5/08 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
H01H 35/00 C ,  H01H 35/00 M ,  H01H 35/00 S ,  B01J 3/02 N ,  G02B 5/08 ,  H01L 21/68 F
Fターム (21件)：
2H042AA02 ,  2H042AA32 ,  5F031CA02 ,  5F031JA02 ,  5F031JA06 ,  5F031JA07 ,  5F031JA12 ,  5F031JA22 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30 ,  5G055AA07 ,  5G055AB02 ,  5G055AC01 ,  5G055AD01 ,  5G055AD04 ,  5G055AD12 ,  5G055AD21 ,  5G055AD37 ,  5G055AE01 ,  5G055AE25 ,  5G055AG17
引用特許：
審査官引用 (3件)

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