特許
J-GLOBAL ID：200903048455742143
多層膜反射鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-251143
公開番号（公開出願番号）：特開平5-089818
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】多層膜反射鏡となる多層膜における金属元素の結晶粒界による粗さを低減する。【構成】 互いに屈折率が異なる2種の物質を交互に蓄積した多層構造を有する多層膜反射鏡において、前記多層構造の各層のうちの一層は高融点な遷移金属元素の合金からなり、該合金の組成比は共晶反応が得られる共晶点付近の組成とする。また、前記合金の成分として、遷移金属元素のうち白金属元素を含む。また、前記合金の成分として、遷移金属元素に加え、共晶材料として半金属元素を含む。また、全反射臨界角以下の斜入射における反射を利用した全反射反射鏡において、前記合金層を反射面とする。
請求項（抜粋）：
互いに屈折率が異なる2種の物質を交互に蓄積した多層構造を有する多層膜反射鏡において、前記多層構造の各層のうちの一層は高融点な遷移金属元素の合金からなり、該合金の組成比は共晶反応が得られる共晶点付近の組成とすることを特徴とする多層膜反射鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/26
, G02B 5/08
, G02B 5/28
