特許

J-GLOBAL ID：200903048455889705

固体撮像素子とその製造方法

発明者： 遠山 茂
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-024956
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223877
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 光電変換領域上にあるポリSiから成るゲートやCCD転送電極がポリSi電極での強い光吸収により光検出器の量子効率が低いという問題を解決する手段を提供する。【解決手段】 光電変換領域上に電極を具備し該電極を透過した光を検出する型式の光検出器が1次元または2次元に配列され、該光検出器アレイの光生成信号を電子的走査機能によって時系列電気信号として出力する固体撮像素子において、前記光電変換領域上の電極5を、二酸化チタン(TiO2 )で構成することを特徴とする固体撮像素子である。この二酸化チタンは、酸素空孔を内包したものであること、もしくはタングステン,リン,アンチモン,タンタル,ニオブ,インジウムあるいはそれらの酸化物(WO3 ,P2 O5 ,Sb2 O5 ,Ta2 O5,Nb2 O5 ,In2 O3 )の内の少なくともどれか一種をドープした二酸化チタンであることが好ましい。

請求項（抜粋）：

光電変換領域上に電極を具備し該電極を透過した光を検出する型式の光検出器が1次元または2次元に配列され、該光検出器アレイの光生成信号を電子的走査機能によって時系列電気信号として出力する固体撮像素子において、前記光電変換領域上の電極を、二酸化チタン(TiO2 )で構成することを特徴とする固体撮像素子。

IPC (4件)：

H01L 27/148 ,  H01L 21/285 301 ,  H01L 27/146 ,  H01L 31/10

FI (4件)：

H01L 27/14 B ,  H01L 21/285 301 Z ,  H01L 27/14 G ,  H01L 31/10 H

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-258167
  
• 太陽電池モジユール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-260716   出願人：キヤノン株式会社
• 特開昭58-141561