特許
J-GLOBAL ID：200903048462400444
クライオトラップ付き真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-158176
公開番号（公開出願番号）：特開平6-002694
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 装置の簡素化及び小型化が図れ、クライオトラップの再生時においても、チャンバー内の気体を連続して排気することができ、しかも、段取り換え等による立ち上がり時間を短くすることができるようにする。【構成】 クライオトラップ付き真空ポンプにおいて、吸気口2と連通する空間Aとコールドトラップ22が収納される空間Bとを開閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動させるための作動手段30とが設けられ、しかも、前記ポンプ段5は、第1ポンプ段6と第2ポンプ段7とから構成され、前記空間Bは、該空間Bを第2ポンプ段7の作用により排気できるように、第1ポンプ段6と第2ポンプ段7との間に形成された排気路36に、バルブ37を介して連通されてなることにある。
請求項（抜粋）：
吸気口2及び排気口3とを有するポンプケーシング1内に、複数のステータ14、17と、該ステータ14、17と対向して回転自在に配置されたロータ9とからなるポンプ段5が構成され、該ポンプ段5よりも吸気口2側には、クライオパネル23を冷却するための冷凍機24を備えたコールドトラップ22か設けられたクライオトラップ付き真空ポンプにおいて、前記吸気口2と連通する空間Aとコールドトラップ22が収納される空間Bとを開閉自在に隔離する区画手段と、該区画手段を作動させるための作動手段30とが設けられ、しかも、前記ポンプ段5は、第1ポンプ段6と第2ポンプ段7とから構成され、前記空間Bは、該空間Bを第2ポンプ段7の作用により排気できるように、第1ポンプ段6と第2ポンプ段7との間に形成された排気路36に、バルブ37を介して連通されてなることを特徴とするクライオトラップ付き真空ポンプ。
IPC (2件)：
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