特許
J-GLOBAL ID：200903048464890104
液晶パネルの貼り合わせ方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025627
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220548
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】 流体的手段により基板を加圧する際の基板相互の位置ずれを防止し、高精度な位置合わせを行って液晶基板を貼り合わせること。【構成】 ワークステージ2に設けられた吸着ブロック2bに基板1を保持させ、また、光透過窓部3に基板1’を保持させ、アライメント・ユニット4により基板上のアライメント・マークAMを受像して2枚の基板の相対的位置の位置合わせを行う。次に、2枚の基板1,1’をスペーサを挟んで接触させ、吸着ブロックに基板を保持させた状態で、ワークステージ2と光透過窓部3の間の空間を負圧にしてダイヤフラム2aを下方に変位させ基板1,1’を加圧する。このとき、吸着ブロック2bは基板1を保持したまま、ダイヤフラムとともに変位する。次に、ランプ8から基板上に塗布された接着剤に光を照射して接着剤を硬化させる。
請求項（抜粋）：
透明基板と透明基板または透明基板と半導体基板とを光硬化型の接着剤で貼り合わせる液晶パネルの貼り合わせ方法において、ワークステージおよび光透過窓部に2枚の基板のそれぞれを保持させて、2枚の基板の相対的位置の位置合わせを行い、次に、2枚の基板をスペーサを挟んで接触させ、ワークステージに設けられ、該ワークステージの基板保持面に対して垂直方向に移動可能な基板保持手段により基板を保持した状態で、2枚の基板が相対的に接近する方向に2枚の基板を流体的手段により加圧し、接着剤に光を照射して接着剤を硬化させることを特徴とする液晶パネルの貼り合わせ方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1339 505
, C09J 5/00 JGV
, G09F 9/00 342
G02F 1/1339 505
, C09J 5/00 JGV
, G09F 9/00 342 A
