特許
J-GLOBAL ID：200903048468113838
磁気記録媒体の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311581
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154325
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 磁気記録媒体の製造装置において、小型かつ低コストで磁気記録媒体を多層構成で製造する。【解決手段】 2つの蒸発容器16A,16Bを高周波誘導加熱により加熱するとともに、ベースフイルム3を直線部分を有する冷却エンドレスベルト4により搬送する。冷却エンドレスベルト4の直線状の部分に蒸発容器16A,16Bから発散される蒸発磁性材料をベースフイルム3に蒸着する。これにより磁性薄膜を多層構成とする場合であっても、電子ビームを軌道を確保する必要がなくなるため、装置の構成をコンパクトにすることができる。
請求項（抜粋）：
真空雰囲気中で、長尺の可撓性基板を搬送する搬送手段と、前記基板が搬送される下方に配設された磁性材料からなる蒸発源と、該蒸発源を加熱蒸発させる蒸発手段と、前記蒸発手段と前記可撓性基板との間に配置され、前記蒸発手段により加熱蒸発した蒸気流の拡散方向を規制制御する筒状の蒸気流拡散制御手段と、前記蒸気流の、前記可撓性基板への入射角度を規制する入射角規制手段とを有する、前記可撓性基板上に磁性薄膜を形成せしめる磁気記録媒体の製造装置において、前記蒸発源を前記長尺の可撓性基板の搬送方向に沿って少なくとも2個設けるとともに、前記蒸発手段を誘導加熱手段としたことを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
IPC (3件)：
G11B 5/85
, C23C 14/56
, H01F 41/20
G11B 5/85 A
, C23C 14/56 A
, H01F 41/20
