特許
J-GLOBAL ID：200903048470264908
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096450
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275770
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：
【要約】【課題】 露光装置本体に残留振動が存在しても高精度な露光が可能な投影露光装置を提供する。【解決手段】 制御装置42からの移動信号に基づいて制御手段48、50によりステージ27、20が制御され、演算回路52により、移動信号に基づいて装置本体40の変動に対するカウンターフォースの指令値が演算され、制御回路11にフィードフォワード入力される。このため、ステージ27、20、の移動により装置本体40に生じる振動は、大部分、アクチュエータ7,32が発するカウンターフォースにより抑制される。抑制し切れなかった装置本体40の残留振動はセンサ5X,5Y,5Zにより検出され、演算回路54では、センサの検出結果に基づいて、アクチュエータに与える信号と、パターンが基板Wに転写される位置が変動しないように、制御手段48に与えるフィードバック信号とを演算する。
請求項（抜粋）：
第1ステージに載置されたマスクのパターンを投影光学系を介して第2ステージに載置された基板上に転写する投影露光装置であって、前記第1ステージ及び前記第2ステージの内の少なくとも一方に対する移動信号を出力するステージ移動信号出力手段と;前記移動信号に基づき、前記ステージを制御するステージ制御手段と;前記第1ステージ及び第2ステージが搭載された露光装置本体の振動を検出する振動センサと;前記露光装置本体に設けられた少なくとも1つのアクチュエータと;前記露光装置本体の振動を抑制するように前記アクチュエータの駆動を制御する駆動制御手段と;前記移動信号に基づき、前記露光装置本体の変動に対するカウンターフォースを演算し、前記駆動制御手段にフィードフォワード入力するカウンターフォース演算手段と;前記振動センサの検出結果に基づいて、前記駆動制御手段に与えるアクチュエータ駆動用フィードバック信号と、前記パターンが前記基板に転写される位置が変動しないように、前記ステージ制御手段に与えるステージ用フィードバック信号とを演算する振動制御用演算手段とを有する投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, F16F 15/02
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 516 B
, F16F 15/02 A
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 503 F
