特許

J-GLOBAL ID：200903048481785500

混合ガス判別方法

発明者： 中村 雅之 ,  杉本 岩雄 ,  桑野 博喜
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114947
公開番号（公開出願番号）：特開平5-312708
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月22日
要約：

【要約】【目的】 混合ガス中の被検知ガスの種類、濃度を確実に同定できる混合ガス判別方法を提供する。【構成】 それぞれ異なる種類の吸着膜2を表面に設けた複数の水晶発振子3を用い、前記各水晶発振子をガス状の試料に曝し、前記各水晶発振子ごとに、各被検知ガスの時定数を用いて、共振周波数の時間変化から各被検知ガスの飽和吸着量を推定し、前記各飽和吸着量から各被検知ガスの同定を行う。【効果】 従来困難であった混合ガス同定を正確に行えるようになる。

請求項（抜粋）：

表面に吸着膜を設けた水晶発振子を用い、被検知ガスの前記吸着膜への吸着による前記水晶発振子の共振周波数の変化を求めることにより、混合ガス中の各被検知ガスの種類を同定する混合ガス判別方法において、それぞれ異なる種類の吸着膜を表面に設けた複数の水晶発振子を用い、前記各水晶発振子をガス状の試料に曝し、前記各水晶発振子ごとに共振周波数の時間変化を、各被検知ガスに対して単独ガスの場合の共振周波数の時間変化を表す指数関数から得られる各時定数を用いた指数関数の和で近似し、各指数関数の係数を求めることにより各被検知ガスの飽和吸着量を推定し、単独ガスの場合の散布図を用いて各被検知ガスの同定および定量を行うことを特徴とする混合ガス判別方法。