特許
J-GLOBAL ID：200903048489907842
基板支持装置、基板搬送装置及びその方法、基板交換方法、並びに露光装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999000464
公開番号（公開出願番号）：WO1999-039999
出願日： 1999年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月12日
要約：
【要約】基板(P)を支持する基板支持装置(26)には、基板ホルダ(14)の溝部に嵌合可能な支持部が設けられている。このため、搬送アーム(24)により、基板支持装置(26)が基板(P)と一体的に基板ホルダ(14)上方まで搬送され、基板支持装置(26)を保持した搬送アーム(24)が下方に駆動されると、基板支持装置26の支持部が基板ホルダ14の溝部(14a)と嵌合する。この嵌合により基板Pにはホルダ上面が直接接触するので、開口部を介して基板Pを基板ホルダ14で吸着保持することができる。この場合、基板ホルダに複雑な重い上下動機構を必要とせず、ホルダ面の平面度を悪化させることもなく、しかも基板ホルダの基板載置面側の空間が狭い場合であっても速やかに損傷なく安全に基板ホルダ上に基板を搬送することが可能になる。
請求項（抜粋）：
搬送部材により基板とともに搬送される基板支持装置であって、 閉じた開口部が形成され前記基板を支持する支持部を備える基板支持装置。
IPC (4件)：
B65G 49/06
, G02F 1/13
, G03F 7/20
, H01L 21/68
B65G 49/06 A
, G02F 1/13
, G03F 7/20
, H01L 21/68 P
